光柵尺零位（或稱為參考點(diǎn)、零點(diǎn)、參考標(biāo)記），是可以使用戶在光柵尺的測(cè)量長(zhǎng)度上找到的一個(gè)絕對(duì)位置。以?shī)W地利RSF光柵尺為例，RSF的敞開式光柵尺的參考點(diǎn)都是直接做在尺子上。當(dāng)讀數(shù)頭通過參考標(biāo)記時(shí)，會(huì)輸出一個(gè)和計(jì)數(shù)脈沖相同寬度的脈沖，因此如RSF光柵尺這類的參考標(biāo)記又可以稱作“真是標(biāo)記”，因?yàn)樵摌?biāo)記在往返掃描過程中可重復(fù)并且沒有空程誤差。后續(xù)電路通過這個(gè)脈沖預(yù)先設(shè)定一個(gè)值可以找到絕對(duì)參考標(biāo)記的位置。